等离子清洗机 |
品牌型号:PLASMA ETCH PE-100 SERIES PLASMA SYSTEM 腔体尺寸:12H"*12W"*12D" 电极配置:11”*W*11”D*9”Spacing ,1 level 主泵流量:29CFM 真空计:0~1 TORR RF 功率:0-300WATTS@13.56MHZ 气流量:0-50CCM O2 控制温度:0℃ to 150℃±0.5℃ 交流供电:220VAC,50HZ,1PHASE,15A 制程气体:15 to 30 psig 系统环境温度:85℉ |